LASER DIRECT WRITER

UV 레이저 (405 nm) 빔과 50x 내지 100x  대물렌즈를 이용하여 마이크로 패턴을 직접 그리는 photolithography 장비

• hardware: XYZ motorized micro-stage와 광학 현미경

• image writing software:  패턴이 그려진 흑백 이미지 화일을 불러들여 패턴을 따라 이동하는 최단 경로를 파악하여 writing

• vector line drawing: 사용자가 기판의 현미경 이미지를 보면서 마우스로 직접 선을 그리면, 스캐너가 이 선들을 따라서 패턴을 그림.

• maximum writing speed: 700 um/sec

• minimum spot size: 1 um

• 2 writing modes: area filling with low resolution + line drawing with high resolution

• Photoresist: 일반 광리소그래피용 PR

• Applications: solar cell electrodes, big electrodes in micro-device, contact pad for device, microfluidics device, lab-on-a-chip

• Image pixels: 1000 x 1000

• ​sample stage tilt correction 

• Price: ~$23,000