2차원 물질 검출 및 전사 시스템

2D 이종구조, 매직 앵글 소자 및 트위스트로닉스 소자 제작을 위한 시스템

모아레 초격자(moiré superlattice), 초전도 현상을 위한 매직 앵글(약 1.1°) 트위스트 소자, 엑시톤 초격자(exciton superlattice) 등 트위스트로닉스(twistronics) 소자를 정밀하고 재현성 있게 제작할 수 있습니다.

혁신적 특징:

당사 시스템만의 독창적인 기능: Transfer 작업 전에 2D 물질을 자동으로 검출하고 위치를 찾아주는 기능(Automatic Detection and Localization)을 제공합니다.
Vacuum Chucks: Pickup 및 transfer 과정에서 진공 척(vacuum chuck)을 사용하여 웨이퍼를 안정적으로 고정할 수 있습니다.
넓은 스테이지에는 최대 5개의 진공 척을 장착할 수 있어 여러 종류의 2D 물질을 동시에 준비해 둘 수 있습니다.
이러한 독창적인 설계는 van der Waals 이종구조(heterostructure) 제작 과정을 크게 간소화하며, 연구자가 서로 다른 2D 물질 사이를 신속하게 전환하면서 복잡한 다층 소자를 효율적으로 제작할 수 있도록 해줍니다.

회전 히터 스테이지에서의 2D 물질 검출 과정

사용자 편의성:

시료 회전 스테이지(모터 구동 옵션): 트위스트된 van der Waals 이종구조 제작을 위한 Tear-and-Stack 방식에 적합하며, 0.1°의 회전 정확도를 보장합니다.
스탬프 기울기 조절: 고니오미터(goniometer)와 회전 스테이지를 이용하여 스탬프의 기울기와 방향을 정밀하게 조절할 수 있습니다.
컴팩트한 설계: 공기에 민감한 2D 물질을 취급할 수 있도록 글러브박스 내부에 설치 가능한 컴팩트한 구조로 설계되었습니다.
스탬프 스테이지: Z축은 기본적으로 모터 구동되며, XY축 모터 구동도 옵션으로 선택할 수 있습니다. PC 프로그램을 통해 이동 속도와 이동 거리를 정밀하게 제어할 수 있습니다.
2D Material Detector 선택 가능: Transfer System은 2D Material Detector와 통합된 시스템으로 주문하거나, Transfer System과 2D Detector를 각각 별도의 시스템으로 주문할 수 있습니다.