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광전류현미경 (SPCM)
상용 장비로 구현된 Scanning Photocurrent Microscopy
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해상도: 0.7 μm (선택사항: 100배 대물렌즈 사용 시 0.4 μm)
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대물렌즈: 50배
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레이저: LD, 405 nm
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동시 획득 영상: 공초점 이미지
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입력 채널: 내장 아날로그 전압 입력 또는
USB 인터페이스를 통한 외부 장비와의 동기화 매핑
(멀티미터, 소스미터, SMU, 파라미터 분석기, 오실로스코프 등과 연동 가능) -
최대 스캔 범위: 25 mm × 25 mm
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시편 장착: 5 cm × 5 cm 평면 스테이지
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전기적 연결: 배선 (선택사항: 인듐 프레싱 또는 실버 페이스트 사용 가능)
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스캐너: 모터 구동 XYZ 스테이지
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기본 관찰 영역: 180 μm × 180 μm
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광시야 관찰 영역: 540 μm × 540 μm (패치 이미지 기능을 통해 장치 위치 쉽게 탐색 가능)
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소자 배선 방식: 자석 고정형 간단한 리지드 와이어 프로브 사용 (간결하고 컴팩트)
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특수 기능: 자동 초점 조절 기능
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가격: 약 $25,000
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